【摘要】摘 要： 利用硅基MEMS工艺，通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀晶向硅片， 结合SiO 2 薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、 光刻工 艺、 lift-off工艺， 制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。 标定了微加热器的R-T曲 线、I-V曲线。微加热器在工作电压为2.3V时， 加热电阻值为60.96Ω， 功耗为86.72mV， 可获得673K的工作温度。
【关键词】
《科技创新导报》 2015-10-14
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010-56259535
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